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图像传感器(CMOS Sensor)
【概要】CMOS 图像传感器是一种光学传感器,是摄像头模组的核心元器件,它由像素区和电路区共同作用将光信号转换为电信号,并最终经处理生成图像,因此电路连接是否正常,离子掺杂是否准确,将直接影响生成的图像质量。工艺上通常使用 SEM 对形貌进行表征,用 SCM/SMM/SSRM 分析载流子浓度与掺杂的二维分布。
CMOS 器件故障分析流程