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半导体激光器(Semiconductor Laser)
垂直腔面发射激光器 (VCSEL) 的载流子分布测量
【概要】激光器通过一定的激励方式,在半导体物质的能带(导带与价带)之间,或者半导体物质的能带与杂质(受主或施主)能级之间,实现非平衡载流子的粒子数反转,当处于粒子数反转状态的大量电子与空穴复合时,便产生受激发射作用。因而针对此类器件,往往用 SMM 来评测载流子是否准确掺杂。