扫描微波阻抗显微镜(SMM)

高感度高真空扫描扩展电阻显微镜(SSRM)

原子力显微镜(AFM)

导电性原子力显微镜(CAFM)

扫描电子显微镜(SEM-EDS)

透射电子显微镜(TEM-EDS)

聚焦离子束(FIB)

扫描电容显微镜(SCM)

逆向工程(Reverse Engineering)