存储器件(Memory Device)

【概要】内存储器按存储信息的功能可分为随机存储器 RAM(RandomAccess Memory) 只读存储器 ROM(Read Only Memory),其二进制运算是通过晶体管的通断来实现的。对于不同种类的存储器,其晶体管的结构与连接方式也不同。因此工艺上经常用 TEM/AFM/SMM/SSRM 等来表征 PMOS 和 NMOS 区的结构和载流子分布状况。