扫描电容显微镜(SCM)

【概要】扫描电容显微镜(Scanning Capacitance Microscopy / SCM)是一种基于扫描探针显微镜(SPM)技术的纳米尺度电学表征工具,主要通过检测探针与样品之间的电容变化,实现对材料局部电学特性(如载流子浓度、介电常数、界面势等)的高分辨率成像。其核心优势在于将电容测量与纳米级空间分辨率结合,为半导体器件、纳米材料等领域的微观电学研究提供了独特手段。



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