分析手法
We provide two-dimensional nanoscale electrical properties measurement and imaging. Advanced electrical characterization technology and research into next generation semiconductor production equipment are our focus.
分析案例
Advanced analysis of devices including solar cells, CMOS sensor, logic/power devices and other third generation of semiconductor materials such as GaN & SiC are provided.
技术研发
Experts with decades of industry experience give the partners professional and Personalized solutions
分析手法
分析案例
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【概要】AFM 利用原子之间的范德华力（Van Der Waals Force）作用来呈现样品的表面特性，是进行表面结构分析常用的高效的手段，根据所测材料不同分为接触式和轻敲式两种运行模式。我司的AFM测试可以测得样品斜坡粗糙度，解决客户痛点难题。
应用1：结构尺寸表征
上图是对具有阶梯状构造的硅表面进行的尺寸测量，由测量曲线 (c) 可以看出从左到右为上升趋势
应用2：结构形貌分析
上图为在硅表面进行金属线选择性沉积以后测量得到的三维立体示意图，由右图可以清晰地看出部分区域的金属线存在不连续的情况，且整体表面附着着大量的大小不等的微粒子。
